记者14日从西安电子科技大学获悉，该校郝跃院士张进成教授团队的最新研究在这一核心难题上实现了历史性跨越——通过将材料间的“岛状-”连接转化为原子级平整的“薄膜”，使芯片的散热效率与综合性能获得了飞跃性提升。这不仅打破了近二十年的技术停滞，更在前沿科技领域展现出巨大潜力▽▽=，相关成果已发表在国际顶级期刊《自然·通讯》与《科学·进展》。
据介绍，在半导体器件中，不同材料层间的界面质量直接决定了整体性能。特别是在以氮化镓为代表的第三代半导体和以氧化镓为代表的第四代半导体中，一个关键挑战在于如何将它们高效、可靠地集成在一起•◆。传统方法使用氮化铝作为中间的“粘合层☆△▲”，但…▷“粘合层□”在生长时●▲★，会自发形成无数不规则且凹凸不平的“岛屿”◆…=。“这就像在凹凸不平的堤坝上修建水渠●。”周弘解释道，…◇“‘岛状◆▼’结构表面崎岖=…，导致热量在界面传递时阻力极大，形成☆▽‘热堵点’。”热量散不出去，就会在芯片内部累积，最终导致性能下降甚至器件烧毁△◇▼。这个问题自2014年相关成核技术获得诺贝尔奖以来-，一直未能彻底解决，成为制约射频芯片功率提升的最大瓶颈。
团队的突破在于从根本上改变了氮化铝层的生长模式。他们创新性地开发出“离子注入诱导成核”技术▼，将原来随机、不均匀的生长过程▽，转变为精准、可控的均匀生长。“就像把随机播种变为按规划均匀播种，最终长出了整齐划一的庄稼。▪”周弘如此形容。这项工艺使氮化铝层从粗糙的◁□▽“多晶岛状”结构，转变为原子排列高度规整的“单晶薄膜”•▼△。
这一转变带来了质的飞跃：平整的单晶薄膜大大减少了界面缺陷，热可快速通过缓冲/成核层导出。实验数据显示，新结构的界面热阻仅为传统“岛状□”结构的三分之一。这项看似基础的材料工艺革新▽△▪，恰恰解决了从第三代到第四代半导体都面临的共性散热难题，为后续的性能爆发奠定了最关键的基础。
基于这项创新的氮化铝薄膜技术，研究团队制备出的氮化镓微波功率器件▪▼，在X波段和Ka波段分别实现了42 W/mm和20 W/mm的输出功率密度★△○。这一数据将国际同类器件的性能纪录提升了30%到40%▷○，是近二十年来该领域最大的一次突破。
“这意味着，在芯片面积不变的情况下◁□★，装备探测距离可以显著增加；对于通信基站而言，则能实现更远的信号覆盖和更低的能耗…☆。”周弘说道▷◁。
对于普通民众，这项技术的红利也将逐步显现。虽然当前民用手机等设备尚不需要如此高的功率密度☆，但基础技术的进步是普惠的。未来，手机在偏远地区的信号接收能力可能更强，续航时间也可能更长。更深远的影响在于•▷，它为推动5G/6G通信☆△▷、卫星互联网等未来产业的发展▼•，储备了关键的核心器件能力-◇。
这项研究成果的深远影响-▼-，远不止于几项破纪录的数据■○•。其核心价值在于，它成功地将氮化铝从一种特定的▷“粘合剂”…▼，转变为一个可适配、可扩展的▪▽◁“通用集成平台”，为解决各类半导体材料高质量集成的世界性难题，提供了可复制的中国范式。
“我们的工作为解决‘如何让两种不同材料完美结合’这一根本问题，提供了一个标准答案。”周弘强调。
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